離子源電源利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使氣體電離，一般用來產(chǎn)生低電荷態(tài)正離子，有時(shí)也從中引出負(fù)離子，作為負(fù)離子源使用。在高頻電場中，自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞，并使之電離。帶電粒子倍增的結(jié)果，形成無極放電，產(chǎn)生大量等離子體。高頻離子源的放電管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高頻場可由管外螺線管線圈產(chǎn)生，也可由套在管外的環(huán)形電極產(chǎn)生。前者稱為電感耦合,后者稱為電容耦合高頻振蕩器頻率為10 ～10 Hz，輸出功率在數(shù)百瓦以上。
    從高頻離子源中引出離子可有兩種方式。一種是在放電管頂端插入一根鎢絲作為正極，在放電管尾端裝一帶孔負(fù)電極，并把該孔做成管形，從中引出離子流。另一種方式是把正極做成帽形，裝在引出電極附近，而放電區(qū)則在它的另一側(cè)。不管采用哪種引出方式，金屬電極都要用石英或玻璃包起來，以減少離子在金屬表面的復(fù)合。

    離子源電源的另一種工作原理是利用氣體放電原理，將工件放置在氣體放電形成的等離子體中，通過放電粒子對工件表面進(jìn)行轟擊。氣體等離子中包含的正離子、負(fù)離子、中性粒子、自由電子、光子和自由基等粒子，通過控制氣體放電過程使等離子體轟擊工件，可以消除表面附著的一些低分子物質(zhì)，使其被電離、離解或解吸；同時(shí)其中一些高能載荷粒子所具有的豐富化學(xué)活性可以引起表面的物理形貌和化學(xué)結(jié)構(gòu)的變化，使工件得到表面刻蝕和活化作用。

    顯然，利用離子源電源進(jìn)行離子轟擊清洗工藝完全不同于液體清洗，是一種比較理想的“干式清洗”處理過程，具有明顯的綠色環(huán)保工藝技術(shù)特點(diǎn)。可以對金屬、塑料、玻璃等材料表面進(jìn)行除油、活化、清洗處理，在薄膜沉積、半導(dǎo)體、紡織、精密機(jī)械等領(lǐng)域得到了較好的應(yīng)用。在鍍膜前通過離子轟擊工件，其轟擊能量可傳遞給基底的晶格原子，使晶格結(jié)構(gòu)遭到破壞，增加工件表面的微觀粗糙度，使基底的表面原子徹底裸露，提高原子的極化率，縮小了薄膜原子與基底表面原子的間距，同時(shí)增加薄膜與表面的接觸面積，有利于提高機(jī)械鎖緊力，從而極大地改善薄膜與基底間的附著力。

    西安兆福電子有限公司在離子源電源生產(chǎn)方面，有豐富的研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，可滿足不同應(yīng)用場景下的離子源電源的按需定制，參數(shù)靈活可調(diào)。詳情請咨詢公司電話：029-97308091